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薬液処理の最も基本的な形である薬液1槽と水洗1槽を自動搬送機との組合せによって、正確かつ安全な液処理を可能とする標準ユニットです。
シンプルで省スペースの設計により複数並列レイアウトをしても、フットプリントは多槽装置よりも低減されます。 基本ユニットにOptionの循環ユニットを組み込むことで高機能液処理装置として使用可能、敢えて乾燥機能を含まない仕様とし液処理に特化、ローコストを実現しました。
《2槽式液処理装置 標準仕様》
※処理槽材質を変更する場合は、価格が変わります。
| 材質 | 外装全PVC溶接構造 |
|---|---|
| 寸法 | 900(W)×1000(D)×1800(H) |
| 処理対象 | 8in.×1 or 6in.以下×2 |
| 処理槽(奥) | PTFE 4面オーバーフロー式 |
| 処理槽(前) | PVC透明 QDR方式 流量計付 |
| 搬送機 | パルスモーター2軸 揺動可能 |
| カセット保持 | カセットハンドルをフックに掛ける方式 |
| 前面扉 | パルスモーターによる開閉 |
| 制御器 | オムロン社 |
| タッチパネル | 5インチTFT デジタル社製 |
| ソフト | 搬送機レシピ他 標準装備 |
| FFU | ボロンフリーPTFE HEPA |
| 価格 | 7,500,000円 |
《Option》
| QDR槽比抵抗計 17.5万円Up | |
| 薬液温調循環ユニット | QDR槽バブリング機能 |
|---|---|
| 薬液供給機能 | 薬液秤量機能 |
| 搬送機カセットクランプ機構 | 処理槽蓋機構 |
| 運送設置費用 | データログ機能 |
