スピンドライヤー

価格を明確にしたスピンドライヤー、合理的な設計により低価格を実現しました。 シングルカセット、バーチカル、対向式の最大300mmウエハー対応のスピンドライヤーをご用意しております。

6インチシリコンウエハー2カセット以下、5インチ以下は4カセット入ります。 5分以内で乾燥し、パーティクルの保証はしていませんが、6インチ0.3μm増加量は10個以下が実績値です。 スピンドライヤーメーカーではありませんので液処理装置とあわせて御購入いただければ幸いです。 また、お使いになっていない自動装置用のスピンドライヤーなどあればオーバーホールのうえ手動装置として再生可能ですのでご相談ください。

仕様

HEX-6

▼ さらにこちらへ変更可能

φ300枚葉スピンドライヤー

内部全樹脂につき　MAX1000rpm

※運送費用は別途申し受けます

外装材質	外装全PVC
チャンバー材質	SUS316電解研磨
クレイドル材質	SUS316電解研磨
寸法	600(W)×600(D)×800+150(H)
排気ダクト	φ150透明　オートダンパー／トラップ付
制御	PLC　オムロン社製
操作画面	5インチTFT　日本デジタル社製
回転	インバータ　0〜1000rpm　2段階
静電除去器	Option　フュージョン　10万円Up
クレイドル	5in以下4個 or 6in2個　本体付属
価格	2,750,000円

スピンドライヤーの
改造やオーバーホール