高温プレートヒーター　RECRYSTA

従来、半導体や液晶の熱処理プロセスでは金属製の面状ヒーターやホットプレートが採用されて来ました。
しかし、近年は絶縁膜の高耐熱化の傾向が進み、面状ヒーターやホットプレートにも高温性能が求められています。
従来は主としてアルミ製であったので３００℃が限界でしたが、今回株式会社オーティーエスではヒーター温度６００℃、
処理温度５００℃の高温ヒーターを開発するに至りました。
「RECRYSTA」は、半導体製造装置や液晶・有機EL製造装置への採用を目的に開発された平板型ヒーターです。
材料を５００℃の高温に加熱できるのでCVDの予熱やPI膜の焼成の工程で利用できます。
具体的には焼成炉や予熱炉などのヒーターとしての採用を期待しています。