株式会社 サンエイ | 感染症対策機器 | 半導体ウェット装置 | 検査装置 | 計測機器 | FA機器受託開発
048-581-3830
お問い合わせ
  • 企業理念
  • 会社概要
  • ウェット技術
  • システム技術
    • 感染症対策機器
    • 各種検査装置、測定機器、自動化省力化機器
  • WEBショップ
  • 採用情報
    • ウェット技術電気制御募集要項
    • ウェット技術製造技術者募集要項
    • ウェット技術樹脂加工者募集要項
    • 計測システム営業担当募集要項
    • 計測システム製造担当者募集要項
  • 社長ブログ

MENU

  • 企業理念
  • 会社概要
  • ウェット技術
  • システム技術
    • 感染症対策機器
    • 各種検査装置、測定機器、自動化省力化機器
  • WEBショップ
  • 採用情報
    • ウェット技術電気制御募集要項
    • ウェット技術製造技術者募集要項
    • ウェット技術樹脂加工者募集要項
    • 計測システム営業担当募集要項
    • 計測システム製造担当者募集要項
  • 社長ブログ

ホーム > 商品 > 高温プレートヒーター > 高温プレートヒーター RECRYSTA

高温プレートヒーター RECRYSTA

価格
:
お問合せください
型番
:
RECRYSTA
在庫
:
無し
従来、半導体や液晶の熱処理プロセスでは金属製の面状ヒーターやホットプレートが採用されて来ました。
しかし、近年は絶縁膜の高耐熱化の傾向が進み、面状ヒーターやホットプレートにも高温性能が求められています。
従来は主としてアルミ製であったので300℃が限界でしたが、今回株式会社オーティーエスではヒーター温度600℃、
処理温度500℃の高温ヒーターを開発するに至りました。
「RECRYSTA」は、半導体製造装置や液晶・有機EL製造装置への採用を目的に開発された平板型ヒーターです。
材料を500℃の高温に加熱できるのでCVDの予熱やPI膜の焼成の工程で利用できます。
具体的には焼成炉や予熱炉などのヒーターとしての採用を期待しています。

【特 徴】

1.600℃の高温安定を維持

安定して600℃の高温を維持できる。
ヒーター表面温度精度は±2%以内を確保。

2.ヒーターが軽量な為、温度レスポンスが優れている

20~600℃まで10分以内で昇温可能。
ヒーターが軽量な為、温度レスポンスが優れている。

3.低発塵性(クラス10)

ヒーター材料が低発塵の為、クラス10に対応する。

4.大幅なコスト削減を実現

ヒーター構造の単純化と、ヒーター材料の低価格化で、
同様・現状ヒーターより大幅なコスト削減を実現。

【仕 様】

温度帯

 最高600℃

対応サイズ

 幅   :最大1000mm

 長さ  :最大2000mm

 厚み  :6~10mm(金属ケースを除く)

電力密度

 ワット密度 :最大3.0W/cm²

昇温速度

 ⊿T  :最大2.5℃/sec

温度精度

 精度  :ヒーター表面温度 ±2%/℃

写真はφ300ウェハ―用 高温ホットプレート

製造元:株式会社オーティーエス

Tweet
このエントリーをはてなブックマークに追加
LINEで送る
Pocket

商品お問い合わせフォーム

    商品名
    会社名
    部署名
    氏名
    フリガナ
    郵便番号
    都道府県
    住所
    メールアドレス
    お問い合わせ内容

    入力内容をご確認ください

    • カテゴリー

      • 中古部品 (7)
        • 中古電気部品 (7)
      • 感染症対策機器 (4)
        • オゾン除菌消臭器 (3)
        • クリーンパーティーション (1)
      • 樹脂部品 (11)
        • アスピレーター (2)
        • コイルチューブ (1)
        • 曲げ加工 溶着・溶接継手 (2)
        • 継手・コック (5)
        • 試験管 (1)
      • 高温プレートヒーター (1)
    pagetop

    古物商
    埼玉県公安委員会
    第431210056277

    logo

    埼玉県大里郡寄居町桜沢3830 〒369-1202

    TEL:048-581-3830 FAX:048-581-3838

    Copyright © 2023 SANEI CO., LTD. All Rights Reserved.