Trio Design
Division

《前工程ウエットプロセス装置関係》

 

トリオデザイン事業部

半洗浄やエッチング、剥離などの液処理装置や乾燥機の設計製造、液処理に関連した薬液の供給回収システムや
敷設工事を、弊社のパートナーシップに則った新しい取組の結果 得られる 改善で低価格でご提供します。

 

[About Logo]
たった3色で無限の色が表現できるように私たちは小さな集団であっても
無限の可能性をお客様に提供できる存在になりたいと願っています。

 

お問い合わせは 048-581-3830まで

メールでのお問い合わせ mail

(弊社ドメインへの特定電子メールの送信を拒否いたします)

基本方針

Basic Policy
真のパートナーシップとは、単に仲良く仕事をすることではなく、
同じ目的に向かって一致団結して真剣に取り組み、
目標達成の喜びを分かちあう関係であると考えます。
トリオデザイン事業部は、お客様とのパートナーシップを
日々心がけ活動しております。

製品とサービス

《前工程ウエットプロセス装置関係》

装 置

あらゆるウエット処理工程において活躍します。 マニュアルドラフト・自動ウエットステーション・前後二槽処理装置など お客様のニーズに合わせてカスタマイズいたします。

●ドラフト/自動ウエットステーション

RCA洗浄・酸/アルカリエッチング・レジスト剥離、石英治具やチューブ洗浄機等々、 弊社こだわりの液系装置はコストも秀逸です。

ドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーション

●前後二槽処理装置
機能を絞った簡易型(二槽型)処理装置です。 薬液とQDR槽間の自動搬送機が付いています。 薬液槽/水洗槽の二槽構造にて省スペース化を実現。 設置場所も多様に検討でき移設も容易です。 評価テスト・量産工程など多様にご使用いただけます。
前後二槽処理装置

供 給

薬液供給装置各種を用意。 弊社現地工事とあわせて更なるコストダウンが可能です。

ドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーション

●加圧容器用 薬液供給装置 ●ポリ容器用ポンプ送液型 薬液供給装置

乾 燥

シングルカセット、バーチカル、対向式の最大300mmウエハー対応の スピンドライヤーをご用意しております。

ドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーション

ユニット

既存設備の性能を飛躍的に向上させる各種ユニットをご用意しています。

ドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーション

付 加

簡単な基本ユニット(タッチパネル/制御)を後付けすることで 既存設備の性能を向上させる様々なアイテムをご用意しています。

ドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーション

工 事

用力接続工事や移設工事など熟練した技術者が低予算で対応いたします。

ドラフト/自動ウエットステーションドラフト/自動ウエットステーション

修 理

既存設備の液漏れや外装の修理改善はもちろん、搬送系 の不具合やスピンドライヤーのオーバーホールも承ります。

リメイク

遊休設備再生や部品の流用でコストを抑制して大きな成果を得る お手伝いをいたします。

ラボ

実験用のシステムや秤量薬液の管理や保管等の機器について 専用機を設計製作いたします。

部 品

カタログや図面のない部品 ドラフトやブースを リーズナブルな価格で製作いたします。

工賃概要/作業工賃/出張費用

作業員費用

※設計電機含む全作業者に適用

社内一般……………………5,000円/1時間 40,000円/1日(8時間)
社外一般……………………6,000円/1時間 48,000円/1日(8時間)
休日・祝日・祭日…………… 7,500円/1時間 60,000円/1日(8時間)
出張費用
宿泊費用10,000円/泊
移動費用
4,000円/時間
交通費用
公共交通機関の費用は実費計上
燃料費用
  • 往復距離(km) 料 金
    0   ~ 100 5,000円
    100 ~ 200 6,000円
    200 ~ 300 7,000円
    300 ~ 400 8,000円
    400 ~ 500 9,000円
    500 ~ 600 10,000円
  • 往復距離(km) 料 金
    600 ~ 700 11,000円
    700 ~ 800 12,000円
    800  ~  900 13,000円
    900  ~ 1,000 14,000円
    1,000 ~ 1,100 15,000円
    1,100 ~ 1,200 16,000円
  • 往復距離(km) 料 金
    1,200 ~ 1,300 17,000円
    1,300 ~ 1,400 18,000円
    1,400 ~ 1,500 19,000円
    1,500 ~ 1,600 20,000円
高速料金
実費による
燃料費用
走行距離 ÷ 10 × (ガソリン/L実勢価格)