商品: 高温プレートヒーター

従来、半導体や液晶の熱処理プロセスでは金属製の面状ヒーターやホットプレートが採用されて来ました。 しかし、近年は絶縁膜の高耐熱化の傾向が進み、面状ヒーターやホットプレートにも高温性能が求められています。 従来は主としてアルミ製であったので３００℃が限界でしたが、今回株式会社オーティーエスではヒーター温度６００℃、 処理温度５００℃の高温ヒーターを開発するに至りました。 「RECRYSTA」は、半導…