特許取得情報

特許取得のおしらせ

名称：湿式処理装置

内容：バッチウエット処理（エッチング／洗浄）に於いて

ウエハの軌跡を任意に設定できる処理槽又は装置の機構。

円運動はもとよりCADで作画した軌跡での処理が可能です。